unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

Справка

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Черноголовка, Московская область)

    Создан в 1983 г. на базе подразделений Института физики твердого тела и начал функционировать с 1 января 1984 г.
    Направления исследований: физические принципы создания элементной базы наноэлектроники, элементной базы квантовых компьютеров; разработка основ материаловедения и технологии элементной базы микросистемной техники, включая наноэлектронику, наноионику и нанооптику, развитие технологий получения и анализа материалов электронной техники; физические основы и технология формирования приборных структур микро- и наноэлектроники с помощью атомных, ионных и молекулярных пучков; исследование физических основ и разработка технологии элементной базы СВЧ электроники.

        Варианты наименования
    Институт проблем технологии и микроэлектроники АН СССР (предыдущий заголовок)
    Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (вариантный заголовок с применением сокращений)
    Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
    ИПТМ РАН (Черноголовка, Московская область) (сокращение)
    РАН. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (вариантный заголовок с применением сокращений)
    Российская академия наук. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов

        Источники информации
    XVIII Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел [Электронный ресурс] : тезисы докладов. — Черноголовка, 2013.
    Сайт Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН.
    Общероссийский математический портал "Math-Net.Ru".

Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере