СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Российский физик. Кандидат физико-математических наук. Старший научный сотрудник Центра естественно-научных исследований Института общей физики им. А. М. Прохорова РАН (информ. на 2013 г.). В 1960 г. окончил химический факультет (кафедра физической химии) Воронежского государственного университета. С 1966 по 1993 г. работал на предприятиях электронной промышленности (электротехника, электроника). В 1993 г. перешел в отдел оптоэлектроники Отделения квантовой Радиофизики ФИАН им. П. Н. Лебедева. С 2004 г. главный оптик института Общей Физики им А. М. Прохорова РАН.
    Область научных интересов: физико-химические процессы и технология химико-механического полирования и планаризации материалов (полупроводники, проводники, диэлектрики и др).
    24 декабря 2012 г. защита диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук по специальности "05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники".

        Вариантная форма имени

Артемов, А. С. (кандидат физико-математических наук)

Артёмов, Александр Серафимович

        Источники информации
    Исследование физико-химических процессов и создание основ технологии химико-механического полирования материалов : автореферат диссертации ... доктора технических наук : 05.27.06 / Артёмов Александр Серафимович. — Москва, 2012.
    Сайт Общества с ограниченной ответственностью "Инновационный альянс" (ООО "ИННА").
    Сайт Центра естественно научных исследований Института общей физики РАН .