unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

Справка

Агеев, Олег Алексеевич (доктор технических наук ; род. 1966)

    Российский ученый в области электроники. Доктор технических наук, профессор. Заведующий кафедрой технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры Таганрогского технологического института Южного федерального университета (информ. на 2016 г.).
    Научные интересы: стимулированные фотонным, ионно- и электронно-лучевым воздействием физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники; технологические процессы изготовления элементной базы приборов наноэлектроники; твердофазные процессы в полупроводниках и диэлектриках при импульсной термообработке некогерентным излучением и электронно-лучевыми потоками; технологические процессы формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.
    Имеет публикации в белорусских научных изданиях.

        Вариантная форма имени
    Агиев, Олег Алексеевич (ошибочная форма)

        Источники информации
    Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / [А. П. Достанко и др.]. — Минск, 2016. (Форма фамилии в выходных сведениях ошибочная.)
    Сайт "Всероссийская научная школа-семинар".
    Портал Российской национальной нанотехнологической сети.

Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере