СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Кандидат технических наук (2002). Доцент кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
    Область научных интересов: технологии микро- и наноэлектроники; процессы травления и получения металлических пленок с использованием низкотемпературной газовой плазмы.

        Источники информации
    Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : автореферат диссертации ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Голишников Александр Анатольевич. — Москва, 2002.
    Сайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники". Дата обращения: 06.03.2018.