СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Доктор технических наук (2002), профессор (2002). Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
    Научные интересы: технология СБИС; плазменная обработка нано- и микроструктур.

        Источники информации
    Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами : автореферат диссертации ... доктора технических наук : 05.27.01 / Путря Михаил Георгиевич. — Москвп, 2002.
    Сайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники". Дата обращения: 26.06.2018.