СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Физикохимик. Доктор химических наук (2005), профессор. Окончил Ивановский химико-технологический институт по специальности "Химическая технология материалов и изделий электронной техники" (1989). С 1989 г. – в Ивановском государственном химико-технологическом университете, профессор кафедры технологии приборов и материалов электронной техники (информ. на 2020 г.).
    Научные интересы: процессы взаимодействия неравновесной плазмы галогенсодержащих газов с твердыми материалами (металлы, полупроводники, диэлектрики).

        Вариантная форма имени

Efremov, A. M. (доктор химических наук) (английский язык)

Ефремов, А. М. (доктор химических наук)

        Источники информации
    On mechanisms of oxygen influence on gas-phase parameters and silicon reactive-ion etching kinetics in HBr + Cl2 + O2 plasma / A. M. Efremov [et al.] // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. — 2019. — Т. 62, вып. 10. — С. 76–83.
    Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме хлорсодержащих газов, взаимодействующей с твердыми неорганическими материалами : автореферат диссертации ... доктора химических наук : 02.00.04 / Ефремов Александр Михайлович. — Иваново, 2005.
    Кинетика взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и смесей хлор-аргон с медью и излучение разряда : автореферат диссертации ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Ефремов Александр Михайлович. — Иваново, 1994.
    Сайт Ивановского государственного химико-технологического университета. Дата обращения: 12.03.2020.
    Сайт энциклопедии "Известные ученые". Дата обращения: 12.03.2020.