СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ | История поисков |
Базовый поиск | Расширенный поиск | Cловари | ГРНТИ | Новые поступления |
---|
Справка
Галперин, Вячеслав Александрович (кандидат технических наук ; род. 1954) |
Российский ученый. Кандидат технических наук. Начальник лаборатории НПК "Технологический центр" Московского института электронной техники (МИЭТ) (информ. на 2016 г.).
Сфера научных интересов: ионно-плазменные технологии, солнечная энергетика, технологии микро- и наноэлектроники. Автор науных публикаций, изобретений и патентов.
Источники информации
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией, [предисловие] С. П. Тимошенкова. — Москва, 2015. (Информация об авторе: 4 страница обложки.)
Сайт "Карта российской науки".
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |