СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Технология нанесения тонких пленок, основанная на последовательном использовании самоограниченных химических реакций для точного контроля толщины нанесенного слоя.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

ALD (сокращение, английский язык)

ALE (сокращение, английский язык)

atomic layer deposition (английский язык)

atomic layer epitaxy (английский язык)

атомарно-слоевое осаждение

атомно-слоевое осаждение

молекулярное наслаивание

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         АСАДЖЭННЕ АТАМНЫХ СЛАЁЎ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
        Сайт ОАО "РОСНАНО"; "Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".