unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

Справка

ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ

    Способ нанесения на подложку тонких пленок металлов, полупроводников или диэлектриков с помощью сфокусированных пучков (лучей) ионов низких энергий.

    
    ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ
        ІОННА-ПРАМЯНЁВАЕ АСАДЖЭННЕ

    ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991.

Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере