СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

химико-механическая планаризация

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         ХІМІКА-МЕХАНІЧНАЕ ПАЛІРАВАННЕ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
        Сайт "Википедия".