СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Тэхналогія электронных мікрасхем, якая выкарыстоўвае літаграфічны працэс з экспанаваннем (апрамяненнем) рэзіста з дапамогай электроннага пучка. Маюцца дзве сістэмы электроннай літаграфіі – сканавальная і праекцыйная.

    СІНОНІМЫ І ЎМОЎНЫЯ СІНОНІМЫ

электроналітаграфія

электронна-прамянёвая літаграфія

ЭКВІВАЛЕНТ НА ІНШАЙ МОВЕ         ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

ВЫШЭЙСТАЯЧЫЯ ТЭРМІНЫ         МІКРАЛІТАГРАФІЯ

        КРЫНІЦЫ IНФАРМАЦЫІ
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
    Терминологический словарь по электронной технике. — Санкт-Петербург, 2001.
        Сайт "Thesaurus.rusnano.com"; "Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".