СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Технология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка. Имеются две системы электронной литографии – сканирующая и проекционная.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

электронно-лучевая литография

электронолитография

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         ЭЛЕКТРОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ

ВЫШЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ         МИКРОЛИТОГРАФИЯ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Терминологический словарь по электронной технике. — Санкт-Петербург, 2001.
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
        Сайт "Thesaurus.rusnano.com"; "Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".