СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Працэс фарміравання рэльефнага відарыса тапалагічнага пласта інтэгральнай схемы ў рэзістыўным матэрыяле з выкарыстаннем шаблону і высокаэнергетычнага выпраменьвання. Па характары выпраменьвання вылучаюць фоталітаграфію, рэнтгенаўскую літаграфію, электронную літаграфію і іоналітаграфію.

ЭКВІВАЛЕНТ НА ІНШАЙ МОВЕ         МИКРОЛИТОГРАФИЯ

НІЖЭЙСТАЯЧЫЯ ТЭРМІНЫ         ІОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ

РЭНТГЕНАЎСКАЯ ЛІТАГРАФІЯ

ФОТАЛІТАГРАФІЯ

ЭЛЕКТРОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ

АСАЦЫЯТЫЎНА ЗВЯЗАНЫЯ ТЭРМІНЫ         НАНАЛІТАГРАФІЯ

    КРЫНІЦЫ IНФАРМАЦЫІ
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
    Радиотехника : энциклопедия / под редакцией Ю. Л. Мазора, Е. А. Мачусского, В. И. Правды. ― Москва, 2016.