СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Процесс формирования рельефного изображения топологического слоя интегральной схемы в резистивном материале с использованием шаблона и высокоэнергетического излучения. По характеру экспонирующего излучения выделяют фотолитографию, рентгеновскую литографию, электронную литографию и ионолитографию.

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         МІКРАЛІТАГРАФІЯ

НИЖЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ         ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ

ФОТОЛИТОГРАФИЯ

ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

АССОЦИАТИВНО СВЯЗАННЫЕ ТЕРМИНЫ         НАНОЛИТОГРАФИЯ

    ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
    Радиотехника : энциклопедия / под редакцией Ю. Л. Мазора, Е. А. Мачусского, В. И. Правды. ― Москва, 2016.