СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ | История поисков |
Базовый поиск | Расширенный поиск | Cловари | ГРНТИ | Новые поступления |
---|
Справка
МИКРОЛИТОГРАФИЯ |
Процесс формирования рельефного изображения топологического слоя интегральной схемы в резистивном материале с использованием шаблона и высокоэнергетического излучения. По характеру экспонирующего излучения выделяют фотолитографию, рентгеновскую литографию, электронную литографию и ионолитографию.
ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ МІКРАЛІТАГРАФІЯ |
НИЖЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ |
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ |
ФОТОЛИТОГРАФИЯ |
ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ |
АССОЦИАТИВНО СВЯЗАННЫЕ ТЕРМИНЫ НАНОЛИТОГРАФИЯ |
ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
Радиотехника : энциклопедия / под редакцией Ю. Л. Мазора, Е. А. Мачусского, В. И. Правды. ― Москва, 2016.
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |