СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Российский разработчик автоматизированного вакуумно-технологического оборудования для напыления, травления, осаждения различных материалов. Основан в 2003 г.

        Варианты наименования

Общество с ограниченной ответственностью "ЭСТО-Вакуум" (Зеленоград)

ООО "ЭСТО-Вакуум" (Зеленоград) (вариантный заголовок с применением сокращений)

        Источники информации
    Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. В. Берлин, Л. Сейдман. ― Москва , 2010. (1//250158(039))
    Сайт ООО "ЭСТО-Вакуум".
    Сайт: "Инновационный Зеленоград".