![]() БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ | История поисков |
Базовый поиск | Расширенный поиск | Cловари | ГРНТИ | Новые поступления |
---|
Справка
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ |
Процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы.
СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ
PECVD (сокращение, английский язык) |
plasma-enhanced chemical vapor deposition (английский язык) |
осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой |
плазменно-химическое осаждение из газовой фазы |
плазмохимическое газофазное осаждение |
плазмохимическое осаждение из газовой фазы |
ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ ПЛАЗМАХІМІЧНАЕ АСАДЖЭННЕ |
ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
Сайт "Российская корпорация нанотехнологий / Нанотехнологический словарь РОСНАНО."
Портал российской национальной нанотехнологической сети.
http://www.plasmasystem.ru/technology/pecvd
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |