СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Метад нанясення плёначных пакрыццяў у вакууме накіраваным асаджэннем часціц з патоку выпаранага або распыленага рэчыва.

ЭКВІВАЛЕНТ НА ІНШАЙ МОВЕ         ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ

АСАЦЫЯТЫЎНА ЗВЯЗАНЫЯ ТЭРМІНЫ         ВАКУУМНАЕ НАПЫЛЕННЕ Ў ПЛАЗМЕ

    КРЫНІЦЫ IНФАРМАЦЫІ
    Вакуумная напылительная техника / Ю. А. Мелехин // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 48—49.