СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Метод нанесения пленочных покрытий в вакууме направленным осаждением частиц из потока испаряемого или распылямого вещества.

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         ВАКУУМНА-ПЛАЗМЕННАЕ АСАДЖЭННЕ

АССОЦИАТИВНО СВЯЗАННЫЕ ТЕРМИНЫ         ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ В ПЛАЗМЕ

    ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Вакуумная напылительная техника / Ю. А. Мелехин // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 48—49.