СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Тэхналогія вырабу электронных мікрасхем, якая выкарыстоўвае літаграфічны працэс з экспанаваннем (апрамяненнем) рэзіста іоннымі пучкамі.

    СІНОНІМЫ І ЎМОЎНЫЯ СІНОНІМЫ

іонна-прамянёвая літаграфія

ЭКВІВАЛЕНТ НА ІНШАЙ МОВЕ         ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ

ВЫШЭЙСТАЯЧЫЯ ТЭРМІНЫ         МІКРАЛІТАГРАФІЯ

        КРЫНІЦЫ IНФАРМАЦЫІ
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
    Литография // Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / под редакцией С. В. Калюжного. ― Москва, 2010. — С. 176—177.
        Сайт "Википедия".
        Сайт "Femto.com.ua"; "Энциклопедия физики и техники".