СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Технология изготовления электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста ионными пучками.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

ионно-лучевая литография

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         ІОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ

ВЫШЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ         МИКРОЛИТОГРАФИЯ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
    Литография // Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / под редакцией С. В. Калюжного. ― Москва, 2010. — С. 176—177.
        Сайт "Википедия".
        Сайт "Femto.com.ua"; "Энциклопедия физики и техники".