СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

рентгенолитография

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         РЭНТГЕНАЎСКАЯ ЛІТАГРАФІЯ

ВЫШЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ         МИКРОЛИТОГРАФИЯ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
    Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / [В. И. Балабанов и др.]. ― Москва, 2010.
    Физическая энциклопедия. [В 5 т.]. Т. 4. — Москва, 1994.
    Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 255.