СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ | История поисков |
Базовый поиск | Расширенный поиск | Cловари | ГРНТИ | Новые поступления |
---|
Справка
РЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ |
Технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей.
СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ
рентгенолитография |
ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ РЭНТГЕНАЎСКАЯ ЛІТАГРАФІЯ |
ВЫШЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ МИКРОЛИТОГРАФИЯ |
ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / [В. И. Балабанов и др.]. ― Москва, 2010.
Физическая энциклопедия. [В 5 т.]. Т. 4. — Москва, 1994.
Литография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 255.
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |