СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Вид фотолитографии в наноэлектронике.

    СИНОНИМЫ И УСЛОВНЫЕ СИНОНИМЫ

глубокая ультрафиолетовая литография

литография в экстремальном ультрафиолете

УЭФ-литография

фотолитография в глубоком ультрафиолете

экстремальная ультрафиолетовая литография

ЭКВИВАЛЕНТ НА ДРУГОМ ЯЗЫКЕ         УЛЬТРАФІЯЛЕТАВАЯ ЛІТАГРАФІЯ

ВЫШЕСТОЯЩИЕ ТЕРМИНЫ         НАНОЛИТОГРАФИЯ

        ИСТОЧНИКИ ИНФОРМАЦИИ
        "Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".
        Сайт "Википедия".