СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Кандидат технических наук (1987). Доцент. Доцент Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
    Сфера интересов: дефекты в кристаллических структурах и методы их исследования; CVD – процессы формирования структур микро-, опто- и наноэлектроники декомпозицией внутрикомплексных соединений; быстрые термические процессы.

        Источники информации
    Методы изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем : учебное пособие / Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин. ― Москва, 1987.
    Сайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники". Дата обращения: 08.05.2018.