СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Инженер электронной техники. Кандидат технических наук, доцент. Окончил Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова по специальности "Вакуумные и полупроводниковые приборы" (1984). Доцент кафедры нанотехнологий и микросистемной техники Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета (информ. на 2021 г.).
    Сфера научных интересов: вакуумная техника и вакуумные технологические процессы (осаждение материалов, получение тонких и толстых пленок различных материалов, модификация поверхности); взаимодействие электронного пучка с рельефными и гладкими поверхностями полупроводников и диэлектриков; применение электронного луча в производстве оптических, электронных, микроэлектронных и других видов приборов; синтез стеклообразных пленок золь-гель методом; технология полупроводниковых материалов.

        Источники информации
    Нанотехнологии в микроэлектронике : [коллективная монография / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев и др.]. — Москва, 2019. (Информация об авторе: с. 501.)
    Сайт Южного федерального университета. Дата обращения: 20.09.2021.
    Сайт Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета. Дата обращения: 20.09.2021.