СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

Справка

    Российский ученый. Кандидат технических наук. Профессор кафедры материалов и процессов твердотельной электроники Московского института электронной техники (МИЭТ).
    Сфера научных интересов: технология, свойства и применение тонких пленок, плазменные технологии, водородная энергетика, системы металлизации интегральных схем. Автор научных публикаций, изобретений и патентов.

        Источники информации
    Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией, [предисловие] С. П. Тимошенкова. — Москва, 2015. (Информация об авторе: 4 страница обложки.)
    Сайт "Карта российской науки".