СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a2200217\\\45\\
=001  BY-SEK-563968
=005  20180307120009.2
=100  \\$a20090520arusy0201\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aГолишников$bА. А.$gАлександр Анатольевич$cкандидат технических наук$fрод. 1960
=340  \\$aКандидат технических наук (2002). Доцент кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
=340  \\$aОбласть научных интересов: технологии микро- и наноэлектроники; процессы травления и получения металлических пленок с использованием низкотемпературной газовой плазмы.
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20180306
=801  \0$aBY$bSEK$c20090520
=810  \\$aИсследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : автореферат диссертации ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Голишников Александр Анатольевич. — Москва, 2002.
=856  4\$uhttps://miet.ru/people/$zСайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники".$zДата обращения: 06.03.2018.
=999  \\$g1438 NLB-NDARD$t20180306