СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a22002173\\45\\
=001  BY-SEK-1512843
=005  20210831133633.4
=100  \\$a20100123arusy0201\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aОвчинников$bВ. А.$gВячеслав Алексеевич$cкандидат технических наук
=340  \\$aРоссийский ученый. Кандидат технических наук (2009). Начальник научно-исследовательской лаборатории "Проектирование и изготовление фотошаблонов" Московского института электронной техники (информ. на 2021 г.).
=400  \1$aОвчинников$bВ. А.$cкандидат технических наук
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20210831
=801  \0$aBY$bSEK$c20100123
=810  \\$aРазработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат диссертации ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алекеевич. — Москва, 2009.
=856  4\$uhttps://miet.ru/structure/s/1547/e/36463/316$zСайт Московского института электронной техники.$zДата обращения: 31.08.2021.
=999  \\$g716 NLB-NDARD$t20210831