СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a22002053\\45\\
=001  BY-RLST-ar462618
=005  20180302150156.2
=100  \\$a20110322arusy50\\\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aДанилкин$bЕ. В.$gЕвгений Владимирович$cкандидат технических наук
=340  \\$aРоссийский ученый. Кандидат технических наук. Инженер-технолог ОАО "НИИМЭ и Микрон" (информ. на 2016 г.).
=340  \\$aСфера научных интересов: моделирование процессов ионноплазменных технологий, технологий микро- и наноэлектроники.
=801  \2$aBY$bBY-HM0005$c20160614
=801  \0$aBY$bSEK$c20110322
=810  \\$aПроцессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под редакцией, [предисловие] С. П. Тимошенкова. — Москва, 2015.$bИнформация об авторе: 4 страница обложки.
=999  \\$g03163 cnb-okv$t20160614