СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a22002173\\45\\
=001  BY-RLST-ar410886
=005  20180718112735.3
=100  \\$a20091113arusy0201\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aШевяков$bВ. И.$gВасилий Иванович$cдоктор технических наук
=340  \\$aДоктор технических наук, профессор. Профессор кафедры "Интегральная электроника и микросистемы" Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
=340  \\$aНаучные интересы: металлизация ИС; сканирующая зондовая микроскопия.
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20180717
=801  \0$aBY$bSEK$c20091113
=810  \\$aМеталлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие для студентов / Д. Г. Громов [и др.]. — Москва, 2009.
=856  4\$uhttps://miet.ru/people/$zСайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники".$zДата обращения: 17.07.2018.
=999  \\$g1438 NLB-NDARD$t20180717