СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002773\\45\\
=001  BY-NLB-ar8170085
=005  20151013113253.4
=100  \\$a20141106abely50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aАСАДЖЭННЕ АТАМНЫХ СЛАЁЎ
=300  1\$aТэхналогія нанясення тонкіх плёнак, заснаваная на паслядоўным выкарыстанні самаабмежаваных хімічных рэакцый для дакладнага кантролю таўшчыні нанесенага слоя.
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aALD$5d
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aALE$5d
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aatomic layer deposition
=450  \\$8beleng$7ca0yba0y$aatomic layer epitaxy
=450  \\$aатамарна-слаявое асаджэнне
=450  \\$aатамна-слаявое асаджэнне
=450  \\$aмалекулярнае наслойванне
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar8169841$aОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
=686  \\$2rugasnti$a31
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20150922
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20141106
=856  4\$uhttp://thesaurus.rusnano.com/$zСайт ААТ "РОСНАНО"$z"Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".
=999  \\$g2088 NLB-NDARD$t20150922
=999  \\$h371 NLB-NDARD$t20151013
=999  \\$f2560 NLB-NDARD$t20141106