СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002773\\45\\
=001  BY-NLB-ar8169841
=005  20151013112255.8
=100  \\$a20141106arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aОСАЖДЕНИЕ АТОМНЫХ СЛОЕВ
=300  1\$aТехнология нанесения тонких пленок, основанная на последовательном использовании самоограниченных химических реакций для точного контроля толщины нанесенного слоя.
=450  \\$8ruseng$7ca0yba0y$aALD$5d
=450  \\$8ruseng$7ca0yba0y$aALE$5d
=450  \\$8ruseng$7ca0yba0y$aatomic layer deposition
=450  \\$8ruseng$7ca0yba0y$aatomic layer epitaxy
=450  \\$aатомарно-слоевое осаждение
=450  \\$aатомно-слоевое осаждение
=450  \\$aмолекулярное наслаивание
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar8170085$aАСАДЖЭННЕ АТАМНЫХ СЛАЁЎ
=686  \\$2rugasnti$a31
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20150922
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20141106
=856  4\$uhttp://thesaurus.rusnano.com/$zСайт ОАО "РОСНАНО"$z"Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".
=999  \\$g2088 NLB-NDARD$t20150922
=999  \\$h371 NLB-NDARD$t20151013
=999  \\$f2560 NLB-NDARD$t20141106