СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ | История поисков |
Базовый поиск | Расширенный поиск | Cловари | ГРНТИ | Новые поступления |
---|
Запись в MARC-формате
копировать MARC-запись |
=LDR 00000cx\\j22001933\\45\\
=001 BY-NLB-ar4760361
=005 20130321143303.0
=100 \\$a20120106arusy50\\\\\\ca0
=152 \\$bDVNLB
=250 \\$aХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
=300 1\$aИзобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление.
=450 \\$aхимико-механическая планаризация
=550 \\$5w$3BY-NLB-ar4760878$aХІМІКА-МЕХАНІЧНАЕ ПАЛІРАВАННЕ
=686 \\$2rugasnti$a47
=801 \0$aBY$bBY-HM0000$c20120106
=836 \\$bЗаменить поле 610 (Химико-механическое уплощение).$d20130321
=856 4\$uhttp://ru.wikipedia.org/wiki$zСайт "Википедия".
=999 \\$f40$t20120106
=999 \\$h1848 NLB-NDARD$t20120127
Чтобы вернуться назад, щелкните кнопку BACK на Вашем браузере
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024 © Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси |