СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002653\\45\\
=001  BY-NLB-ar2790887
=005  20210406120235.3
=100  \\$a20080227arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=300  1\$aТехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка. Имеются две системы электронной литографии – сканирующая и проекционная.
=450  \\$aэлектронно-лучевая литография
=450  \\$aэлектронолитография
=550  \\$5g$3BY-NLB-ar2408340$aМИКРОЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar2790891$aЭЛЕКТРОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \2$aBY$bBY-HM0000$c20210129
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20080227
=810  \\$aТерминологический словарь по электронной технике. — Санкт-Петербург, 2001.
=810  \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
=856  4\$uhttps://thesaurus.rusnano.com/wiki/article1093$zСайт "Thesaurus.rusnano.com"$z"Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".
=999  \\$g371 NLB-NDARD$t20210129
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9g
=999  \\$h2088 NLB-NDARD$t20210406
=999  \\$f1244$t20080227