СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000nx\\a2200205\\\45\\
=001  BY-NLB-ar2517398
=005  20090520145636.2
=100  \\$a20070414arusy50\\\\\\ca0
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aКиреев$bВ. Ю.$gВалерий Юрьевич$f1949—
=340  \\$aДоктор технических наук. Сфера научных интересов: процессы, технология, оборудование газо-плазменного травления, очистки, обработки и осаждения функциональных слоев микроэлектронных приборов. Автор более пятидесяти авторских свидетельств и патентов.
=400  \1$8rusbel$aКірэеў$bВ. Ю.$gВалерый Юр'евіч$f1949—
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20070414
=810  \\$aКиреев, В. Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. ― М., 2006. (1//16882(039))
=830  \\$aВедущий научный сотрудник НИИ системных исследований Российской академии наук.
=830  \\$aПеревод заголовка на белорусский язык выполнен каталогизатором.
=999  \\$f2560$t20070414