СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002293\\45\\
=001  BY-NLB-ar13927608
=005  20210201102116.7
=100  \\$a20210201abely50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aІОННАЯ ЛІТАГРАФІЯ
=300  1\$aТэхналогія вырабу электронных мікрасхем, якая выкарыстоўвае літаграфічны працэс з экспанаваннем (апрамяненнем) рэзіста іоннымі пучкамі.
=450  \\$aіонна-прамянёвая літаграфія
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar13927578$aИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5g$3BY-NLB-ar2408349$aМІКРАЛІТАГРАФІЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20210201
=810  \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 254—256.
=810  \\$aЛитография // Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / под редакцией С. В. Калюжного. ― Москва, 2010. — С. 176—177.
=856  4\$uhttp://ru.wikipedia.org/wiki/$zСайт "Википедия".
=856  4\$uhttp://femto.com.ua/articles/part_1/2276.html$zСайт "Femto.com.ua"$z"Энциклопедия физики и техники".
=999  \\$f371 NLB-NDARD$t20210201
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210201$9g