СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002293\\45\\
=001  BY-NLB-ar13332108
=005  20210129162853.5
=100  \\$a20180917abely50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aРЭНТГЕНАЎСКАЯ ЛІТАГРАФІЯ
=300  1\$aТэхналогія электронных мікрасхем; варыянт літаграфіі, які выкарыстоўвае экспанаванне (абпраменьванне) рэзіста з дапамогай рэнтгенаўскіх праменяў.
=450  \\$aрэнтгеналітаграфія
=550  \\$5g$3BY-NLB-ar2408349$aМІКРАЛІТАГРАФІЯ
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar13332068$aРЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20180917
=810  \\$aСловарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / [В. И. Балабанов и др.]. ― Москва, 2010.
=810  \\$aФизическая энциклопедия. [В 5 т.]. Т. 4. — Москва, 1994.
=810  \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 255.
=999  \\$f2560 NLB-NDARD$t20180917
=999  \\$h40 NLB-NDARD$t20181008
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9g