СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002293\\45\\
=001  BY-NLB-ar13332068
=005  20210129162811.3
=100  \\$a20180917arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aРЕНТГЕНОВСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=300  1\$aТехнология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей.
=450  \\$aрентгенолитография
=550  \\$5g$3BY-NLB-ar2408340$aМИКРОЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar13332108$aРЭНТГЕНАЎСКАЯ ЛІТАГРАФІЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20180917
=810  \\$aСловарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов / [В. И. Балабанов и др.]. ― Москва, 2010.
=810  \\$aФизическая энциклопедия. [В 5 т.]. Т. 4. — Москва, 1994.
=810  \\$aЛитография / Г. К. Селиванов // Электроника : энциклопедический словарь. — Москва, 1991. — С. 255.
=999  \\$f2560 NLB-NDARD$t20180917
=999  \\$h40 NLB-NDARD$t20181008
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9g