СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\j22002653\\45\\
=001  BY-NLB-ar13303454
=005  20210201134328.9
=100  \\$a20180801arusy50\\\\\\ca0
=152  \\$bDVNLB
=250  \\$aУЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ ЛИТОГРАФИЯ
=300  1\$aВид фотолитографии в наноэлектронике.
=450  \\$aглубокая ультрафиолетовая литография
=450  \\$aлитография в экстремальном ультрафиолете
=450  \\$aфотолитография в глубоком ультрафиолете
=450  \\$aУЭФ-литография
=450  \\$aэкстремальная ультрафиолетовая литография
=550  \\$5g$3BY-NLB-ar2723378$aНАНОЛИТОГРАФИЯ
=550  \\$5w$3BY-NLB-ar13303460$aУЛЬТРАФІЯЛЕТАВАЯ ЛІТАГРАФІЯ
=686  \\$2rugasnti$a47
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20180801
=856  4\$uhttp://thesaurus.rusnano.com/$z"Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов".
=856  4\$uhttp://ru.wikipedia.org/wiki/$zСайт "Википедия".
=999  \\$f2088 NLB-NDARD$t20180801
=999  \\$h371 NLB-NDARD$t20180802
=999  \\$i371 NLB-NDARD$t20210129$9g