СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a22002053\\45\\
=001  BY-NLB-ar13242631
=005  20180510095801.5
=100  \\$a20180508arusy0201\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aaa
=152  \\$apsbo$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aМатына$bЛ. И.$gЛариса Ивановна$cкандидат технических наук
=340  \\$aКандидат технических наук (1987). Доцент. Доцент Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники" (НИУ "МИЭТ") (информ. на 2018 г.).
=340  \\$aСфера интересов: дефекты в кристаллических структурах и методы их исследования; CVD – процессы формирования структур микро-, опто- и наноэлектроники декомпозицией внутрикомплексных соединений; быстрые термические процессы.
=801  \0$aBY$bBY-HM0000$c20180508
=810  \\$aМетоды изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем : учебное пособие / Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин. ― Москва, 1987.
=856  4\$uhttps://miet.ru/people/$zСайт Национального исследовательского университета "Московский институт электронной техники".$zДата обращения: 08.05.2018.
=999  \\$f1438 NLB-NDARD$t20180508