СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков

=LDR  00000cx\\a2200229\\\45\\
=001  BY-CNB-ar2504755
=005  20210920111211.1
=100  \\$a20210608arusy50\\\\\\ca0
=101  \\$arus
=102  \\$aRU
=120  \\$aba
=152  \\$aRCR$bBY-auth
=106  \\$a0
=200  \1$aАвдеев$bС. П.$gСергей Петрович$cкандидат технических наук$fрод. 1962
=340  \\$aИнженер электронной техники. Кандидат технических наук, доцент. Окончил Таганрогский радиотехнический институт им. В. Д. Калмыкова по специальности "Вакуумные и полупроводниковые приборы" (1984). Доцент кафедры нанотехнологий и микросистемной техники Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета (информ. на 2021 г.).
=340  \\$aСфера научных интересов: вакуумная техника и вакуумные технологические процессы (осаждение материалов, получение тонких и толстых пленок различных материалов, модификация поверхности); взаимодействие электронного пучка с рельефными и гладкими поверхностями полупроводников и диэлектриков; применение электронного луча в производстве оптических, электронных, микроэлектронных и других видов приборов; синтез стеклообразных пленок золь-гель методом; технология полупроводниковых материалов.
=801  \2$aBY$bBY-HM0005$c20210920
=801  \0$aBY$bSEK$c20210608
=810  \\$aНанотехнологии в микроэлектронике : [коллективная монография / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев и др.]. — Москва, 2019.$bИнформация об авторе: с. 501.
=856  4\$uhttps://sfedu.ru/www/stat_pages22.show?p=UNI/s1/D¶ms=(p_per_id=>-3000005)$zСайт Южного федерального университета.$zДата обращения: 20.09.2021.
=856  4\$uhttps://inep.sfedu.ru/chairs/ntmst/ntmst-staff/avdeev/$zСайт Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета.$zДата обращения: 20.09.2021.
=999  \\$g03163 cnb-okv$t20210920