
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001="u14174041"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2021	Иванов, Владимир Викторович	Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Иванов Владимир Викторович ; [Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") ]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси