unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков Справка
 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

   Запрос: a001="BY-SEK-ar13504690"
   Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по: 
Дата Автор Заглавие
2019 Спешилова, Анастасия Борисовна Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Спешилова Анастасия Борисовна ; [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]
Записей на стр.