unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ		История поисков Справка
 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления
Профессионалам
ПоискЭкспорт данных/ Z39.50BelmarcМетодические решения

   Запрос: a001="BY-SEK-ar14213457"
   Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по: 
№Дата Автор Заглавие
2009 Овчинников, Вячеслав Алексеевич Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алекеевич ; [ГОУ ВПО "Московский государственный институт электронной техники (технический университет)"]
Записей на стр.

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси