
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ	История поисков Справка

Базовый поиск	Расширенный поиск	Cловари	ГРНТИ	Новые поступления	Профессионалам Поиск Экспорт данных/ Z39.50 Belmarc Методические решения

Запрос: a001="BY-SEK-ar14213454"
Записи: 1 - 1 из 1 (стр. 1 из 1)

Сортировать по:

№	Дата	Автор	Заглавие
	2010	Родионов, Илья Анатольевич	Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.14 / Родионов Илья Анатольевич ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]

Служба технической поддержки:
+375 17 293 29 78
skk@nlb.by
© Государственное учреждение "Национальная библиотека Беларуси", 2015-2024
© Поисковая система разработана Объединенным институтом проблем информатики НАН Беларуси