unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков Справка
 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

   Запрос: a001="BY-SEK-382558"
   Записи: 1 - 2 из 2 (стр. 1 из 1)

Сортировать по: 
Дата Автор Заглавие
2005 Борисов, Виктор Одиссеевич (кандидат технических наук) Физико-химические основы плазмохимической технологии синтеза пленок карбонитрида кремния из силильных производных несимметричного диметилгидразина : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 02.00.04 / Борисов Виктор Одиссеевич ; [Институт неорганической химии им. А.В.Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Томский государственный университет]
2013   Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники = Fundamental Bases of Chemical Vapour Deposition Procesess of Films and Structures for Nanoelectronics / [Ф. А. Кузнецов и др.] ; ответственный редактор Т. П. Смирнова ; Российская академия наук, Сибирское отделение, Институт неорганической химии им. А. В. Николаева, Иркутский институт химии им. А. Е. Фаворского, Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
Записей на стр.