| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2000 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Температурные поля и конструктивные особенности оборудования / В.М. Анищик, В.А. Горушко, В.А. Пилипенко и др |
|
2003 |
|
Физические измерения в микроэлектронике / В. А. Пилипенко [и др.] |
|
2002 |
Анищик, Виктор Михайлович (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Физические основы быстрой термообработки : Отжиг поликристаллич.кремния,диэлектрич.пленок,очистка поверхности и эпитаксия: [Моногр.] |
|
2001 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В.М. Анищик, В.А. Горушко, В.А. Пилипенко и др |
|
2000 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации / В. М. Анищик [и др.] |
|
2000 |
Анищик, Виктор Михайлович (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Физические основы быстрой термообработки : Температур.поля и конструктив.особенности оборудования |
|
2000 |
|
Физические основы быстрой термообработки. Температурные поля и конструктивные особенности оборудования / В. М. Анищик [и др.] |
|
2002 |
|
Физические основы быстрой термообработки : Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия / В. М. Анищик [и др.] |
|
2002 |
|
Физические основы быстрой термообработки.Отжиг поликристаллического кремния,диэлектрических пленок,очистка поверхности и эпитаксия / В.М.Анищик,В.А.Горушко,В.А.Пилипенко и др |
|
2000 |
|
Физические основы быстрой термообработки.Создание многоуровневой металлизации / В.М.Анищик,В.А.Горушко,В.А.Пилипенко и др |
|
2001 |
Анищик, Виктор Михайлович (доктор физико-математических наук ; род. 1945) |
Физические основы быстрой термообработки : Геттерирование,отжиг ионнолегированных слоев,БТО в технологии СБИС |
|
2001 |
|
Физические основы быстрой термообработки : геттерирование, отжиг ионнолегированных слоев, БТО в технологии СБИС / В. М. Анищик [и др.] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ