unicat.nlb.by СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ
БИБЛИОТЕК БЕЛАРУСИ
История поисков Справка
 
Базовый поискРасширенный поискCловариГРНТИНовые поступления

   Запрос: a001="BY-SEK-132258"
   Записи: 1 - 3 из 3 (стр. 1 из 1)

Сортировать по: 
Дата Автор Заглавие
2006 Цветков, Юрий Борисович (доктор технических наук) Основы управления топологической точностью микролитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 / Цветков Юрий Борисович ; [Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана]
2011 Макарчук, Владимир Васильевич (кандидат технических наук ; род. 1947) Методы литографии в наноинженерии : учебно-методический комплекс по тематическому направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению 152200 "Наноинженерия" / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков ; под редакцией В. А. Шахнова
2018 Цветков, Юрий Борисович (доктор технических наук) Процессы и оборудование микротехнологии : модули 1 и 2 : учебное пособие / Ю. Б. Цветков ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Записей на стр.