| № | Дата |
Автор |
Заглавие |
|---|
|
2005 |
Коробко, Юлия Олеговна (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование субмикронных кмоп структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : защищена 17.03.05 : утверждена 18.05.05 : 05.27.01 / Коробко Юлия Олеговна |
|
1982 |
Погоцкий, Эдуард Иосифович |
Исследование и разработка новых технологических методов получения фотошаблонов с пониженной дефектностью для больших интегральных схем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.12.18 / Погоцкий Эдуард Иосифович ; Мин. радиотехн. ин-т |
|
1993 |
|
Отсчетные устройства в планшетном лазерном фотопостроителе растрового типа / А.М.Буфан, А.А.Иванов, А.Ан.Иванов и др |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : Учеб. пособие для учащихся проф.-техн. училищ профессии электрон. техники |
|
2004 |
|
Handbook of laser technology and applications : [in 3 vol.] / ed. by Colin E. Webb a. Julian D.C. Jones. — Vol. 3: Applications |
|
2011 |
Никаноров, Олег Викторович |
Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.11.07 / Никаноров Олег Викторович ; Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики |
|
2012 |
Качалов, Денис Георгиевич |
Расчет дифракционных оптических элементов, формирующих аксиальные световые распределения в задаче оптического захвата : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Качалов Денис Георгиевич ; [Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет)] |
|
2013 |
Корольков, Виктор Павлович (доктор технических наук) |
Лазерные литографические системы и технологии синтеза рельефно-фазовых оптических элементов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Корольков Виктор Павлович ; [Институт автоматики и процессов и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
1980 |
Курносов, Анатолий Иванович |
Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для средних профессионально-технических училищ / А. И. Курносов |
|
2021 |
Иванов, Владимир Викторович |
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Иванов Владимир Викторович ; [Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") ] |
|
2022 |
Бодров, Евгений Эдуардович |
Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров |
|
1985 |
Туромша, Евгений Петрович (кандидат физико-математических наук) |
Спектрально-кинетические исследования карбонилсодержащих маскирующих материалов в реакциях взаимодействия с потоками заряженных и нейтральных частиц : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.05 Оптика / Туромша Евгений Петрович ; Белорусский государственный университет им. В. И. Ленина |
|
2008 |
Муравский, Александр Викторович |
Фотоориентация для оптически перезаписываемой (ОПЗ) электронной бумаги и фотоники: физика и применение : диссертация на соискание ученой степени доктора философии : утверждена 04.06.09 / Муравский Александр ; научный руководитель Владимир Чигринов ; Гонконговский университет науки и технологии, Департамент электроники и компьютерной инженерии |
|
1985 |
Мокеев, Олег Константинович |
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : учебник для проф.-техн. училищ / О. К. Мокеев, А. С. Романов |
|
2010 |
Точицкий, Яков Иванович (кандидат технических наук) |
Оптические технологии микро- и наноэлектроники / Я. И. Точицкий |
|
2014 |
Агейченко, Александр Степанович (кандидат технических наук, электроника) |
Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2018 |
Мартынов, Валерий Владимирович (доктор технических наук) |
Технология сверхбольших интегральных схем и оптико–механическое оборудование для микро– и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий ; Национальная академия наук Беларуси |
|
2022 |
Иванников, Валерий Павлович (доктор технических наук ; кандидат физико-математических наук ; род. 1944) |
Информационно-измерительная техника и электроника : учебное пособие : [для студентов, обучающихся по направлениям подготовки специалистов 13.04.02 "Электроэнергетика и электротехника"; 13.04.01 "Теплоэнергетика и теплотехника"; 15.04.04 "Автоматизация технологических процессов и производств"; 20.04.01 "Техносферная безопасность"] / В. П. Иванников |
|
2007 |
Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955) |
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 : защищена 03.04.08 : утверждена 25.06.08 / Аваков Сергей Мирзоевич ; научный консультант С. Е. Карпович ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2008 |
Рыжикова, Юлия Владимировна |
Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.03 / Рыжикова Юлия Владимировна ; Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова |
|
1998 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Литография в производстве интегральных микросхем : Учеб.пособие для ПТУ |
|
2007 |
Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955) |
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореф. дис.... д-ра техн. наук : 05.27.06 / Аваков Сергей Мирзоевич ; Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники |
|
2014 |
|
Нано-КМОП-схемы и проектирование на физическом уровне : перевод с английского / Б. П. Вонг [и др.] |
|
2020 |
Родионов, Юрий Анатольевич (кандидат технических наук, микроэлектроника) |
Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Ю. А. Родионов |
|
2007 |
Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955) |
Автоматический контроль топологии планарных структур : монография / С. М. Аваков |
|
2002 |
Mansuripur, Masud |
Classical optics and its applications |
|
1996 |
|
Оборудование для нанесения покрытий : Кат. / ВНИИТЭМР |
|
2011 |
Малыхин, Евдоким Михайлович (кандидат физико-математических наук ; программист) |
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Малыхин Евдоким Михайлович ; [НИИ Ядерной физики им. Д. В. Скобельцина Московского государственного университета им. М. В. Ломоносова] |
|
2010 |
Королев, Михаил Александрович (доктор технических наук) |
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 (200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" : [в 2 ч.] / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общей редакцией Ю. А. Чаплыгина. — Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование |
|
2001 |
Абрамов, Геннадий Владимирович (доктор технических наук) |
Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : специальности 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ, 05.13.01 Системный анализ, управление и обработка информации (пищевая и химическая промышленность) / Абрамов Геннадий Владимирович ; [Воронежская государственная технологическая академия] |
|
2006 |
Ююкин, Николай Викторович |
Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 05.13.06 / Ююкин Николай Викторович ; [Воронежский государственный технический университет] |
|
2005 |
Коробко, Юлия Олеговна (кандидат технических наук, электроника) |
Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : 05.27.01 : 17.03.2005 / Коробко Юлия Олеговна ; Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники |
|
2007 |
Аваков, Сергей Мирзоевич (доктор технических наук, электроника ; род. 1955) |
Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.27.06 / Аваков Сергей Мирзоевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" |
|
2006 |
|
Новый справочник химика и технолога : Общ. сведения. Строение вещества. Физ. свойства важнейших веществ. Аромат. соединения. Химия фотогр. процессов. Номенклатура орган. соединений. Техника лаб. работ. Основы технологии. Интеллектуал. собственность / Ефим Ефимович Бибик [и др.] ; ред. Андрей Вадимович Москвин |
|
2013 |
|
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.] ; под редакцией А. С. Турцевича. — Т. 2 |
|
2014 |
Агейченко, Александр Степанович (кандидат технических наук, электроника) |
Системы проекционного переноса широкоформатных изображений в технологии сборки СБИС методом перевернутого кристалла : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов, приборов электронной техники / Агейченко Александр Степанович |
|
2022 |
Деревяшкин, Сергей Владимирович |
Акриламидные производные полифторированных халконов для фотолитографического формирования электропроводящих микроструктур на анодированном алюминии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 1.4.4 Физическая химия / Деревяшкин Сергей Владимирович ; [Новосибирский институт органической химии им. Н. Н. Ворожцова Сибирского отделения Российской академии наук] |
|
2022 |
Дворецкая, Лилия Николаевна |
Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики / Дворецкая Лилия Николаевна ; [Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет им. Ж. И. Алферова Российской академии наук] |
|
2023 |
Иванов, Владимир Викторович (физика, молекулярная электроника) |
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 2.2.2 Электронная компонентная база микро-и наноэлектроники, квантовых устройств / Иванов Владимир Викторович ; [место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук] |
|
1989 |
Буров, Юрий Георгиевич |
Методы и технические средства автоматизированнного контроля топологии фотошаблонов и гибридных интегральных схем СВЧ : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.05) / АН БССР, Ин-т электроники |
|
2008 |
Иванов, Александр Сергеевич |
Источник экстремального УФ излучения (λ ~ 13,5 нм) на основе разряда типа лазерноиндуцированной вакуумной искры в парах олова : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Иванов Александр Сергеевич ; [Государственный научный центр Российской Федерации "Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований"] |
|
2002 |
|
Физические основы технологии микроэлектроники : Учеб. пособие для вузов / А.П.Бурмаков, П.И.Гайдук, Ф.Ф.Комаров, А.В.Леонтьев |
|
1989 |
Моряков, Олег Сергеевич |
Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : учебник для профессионально-технических училищ / О. С. Моряков |
|
1986 |
Курносов, Анатолий Иванович |
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : учебное пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин |
|
2018 |
Хорин, Иван Анатольевич |
Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / И. А. Хорин |
|
2023 |
Соколов, Виктор Иванович (кандидат физико-математических наук ; род. 1956) |
Интегральная оптика на основе фторсодержащих полимерных материалов : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 1.3.6 Оптика / Соколов Виктор Иванович ; [место защиты: Самарский национальный исследовательский университет им. академика С. П. Королева] |
|
2001 |
Коваленко, Владислав Борисович |
Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Коваленко Владислав Борисович ; [Воронежская государственная технологическая академия] |
|
1982 |
Березин, Геннадий Николаевич |
Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис |
|
2011 |
Полищук, Григорий Сергеевич |
Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.07 Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы / Полищук Григорий Сергеевич ; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики |
|
2017 |
|
Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие для специальностей 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы", 1-41 01 03 "Квантовые информационные системы" / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники", Факультет радиотехники и электроники, Кафедра микро- и наноэлектроники ; [Ю. А. Родионов и др.] |
СВОДНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ КАТАЛОГ